凈化工程無塵車間的氣流特點檢查凈化車間工作正常所進行的各項測試中，其中一項就是對室內(nèi)氣流的檢查。這是整個測試程序的組成部分。為了稀釋或消除室內(nèi)的懸浮污染，從而防止污染在室內(nèi)的積累，室內(nèi)必須有充分的氣流流動。所以對氣流必須進行檢測。

    在紊流潔凈室中，風的輸送和混合都是紊流方式進行的。為確保污染物被清楚，無塵車間的各個部分必須均實現(xiàn)良好的空氣混合。

    在單向流凈化車間中，為保證關鍵區(qū)域達到最潔凈的水平，其送風直接來自高效過濾器。

    凈化車間垂直層流式方向要保持均一氣流必須：

    (1)吹出面的風速不可有速度上的差異；

    (2)地板回風板吸入面之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s，0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目前一般潔凈室，其風速均取在0.25~0.5m/s之間

    影響潔凈室的氣流因素很多，如制程設備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等，同時對于生產(chǎn)設備上方氣流的分流點，亦應列入考慮因素。

    凈化車間一般操作臺或生產(chǎn)設備等表面的氣流分流點，應設于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走；若分流點配置在制程區(qū)前方，將成為不當?shù)臍饬鞣至?，此時大部份的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。

    凈化車間內(nèi)的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)生，相對地在其附近之潔凈度將會較差，在工作桌面鉆上回風孔，將使渦流現(xiàn)象減少最低；組裝材料之選擇是否恰當、設備怖局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。